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진공 센터링(VACUUM CENTERING)
진공 센터링은 각종 프로세서 챔버에서 박막 증착이나 증착된 박막을 에칭하는 공정의 경우 프로세서 챔버 내에서 유해가스를 사용하여 고온에서 수행하는데 공정이 진행되는 동안 챔버 내부에 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 가스 등이 다량 발생한다. 챔버 내부에서는 유해 가스의 약30%만 웨이퍼의 표면에 증착되고 반응하지 않은 일부 가스는 배출되는 것이다. 프로세스 챔버를 진공상태로 만들어주는 진공펌프의 후단에는 배출되는 유해 가스를 정화한 후 대기로 방출하기 위한 스크러버가 설치되는데 이러한 진공배관라인은 진공펌프와 연이어 통하게 연결되고 진공배관라인의 진공상태가 유지되게 되는데 진공펌프의 가동으로 인한 진동이 발생되어도 진공배관 연결부의 기밀한 연결 상태를 유지시키는 씰의 중요한 역활을 한다. 진공센터링은 내륜의 센터링에 오링이 끼워지고 아웃터링으로 오링의 외륜부를 가이드하여 클램프 체결 시 오링의 이탈방지와 기밀유지를 극대화하는 부품으로 양측 플랜지 중앙에 인입하여 사용하는 것이다. 또한 센터링의 아웃터링의 중요한 역할로 각종 플랜지가 클램프에의해 조여질 경우 플랜지가 변형이 되는데 이러한 변형을 막아주는 중요한 가이드 역할도 합니다.
VACUUN FITTING 통합 명칭 호칭
기본호칭-NW10 NW16 NW20 NW25 NW32 NW40 NW50 NW63 NW65 NW80 NW100 NW120 NW125 NW150 NW160 NW200 NW250 NW300 NW320 NW400 NW500 NW630, CLAMP 호칭-KF16A KF25A KF40A KF50A KF-16A KF-25A KF-40A KF-50A NW16A NW25A NW40A NW50A NW-16A NW-25A NW-40A NW-50A, KF FLANGE 호칭-KF10 KF16 KF20 KF25 KF32 KF40 KF50 KF63 KF65 KF80 KF100 KF120 KF125 KF150 KF160 KF200 KF250, MF(DC) FLANGE 호칭-MF63 MF65 MF80 MF100 MF120 MF125 MF150 MF160 MF200 MF250 MF300 MF320 MF400 MF500 MF630 DC(MF) FLANGE 호칭-DC63 DC65 DC80 DC100 DC120 DC125 DC150 DC160 DC200 DC250 DC300 DC320 DC400 DC500 DC630
| ISO Components |
ISO Centering rings, VITON |
| Centering (SUS304) |
Specifications |
Qt`y |
ISO |
| Product code |
ØA |
ØB |
C |
ØD |
E |
ØF |
Sets |
Size |
| Inner Ring |
SUS304 |
EVC-CT16/10G |
16.8 |
15.1 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW16/10 |
| O-Ring |
VITON |
EVC-CT25G |
26 |
24 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW25 |
| |
|
EVC-CT40G |
41 |
39 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW40 |
| |
|
EVC-CT50G |
52 |
49.5 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW50 |
| |
|
EVC-CT63G |
70 |
67 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW63 |
| |
|
EVC-CT80G |
83 |
80 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW80 |
| |
|
EVC-CT100G |
102 |
100 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW100 |
| |
|
EVC-CT125G |
127 |
124 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW125 |
| |
|
EVC-CT150G |
153 |
150 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW150 |
| |
|
EVC-CT200G |
212 |
209 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW200 |
| |
|
EVC-CT250G |
260 |
257 |
8 |
|
3.9 |
5.34 |
1 |
NW250 |
| |
|
EVC-CT320G |
316.5 |
311 |
14 |
|
5.6 |
6.98 |
1 |
NW320 |
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